首頁 服務項目 監控開發(面板/半導體) 條列顯示 | 圖片顯示 資料載入中，請稍後...... Alinger警報裝置 預防Wafer偏移，當Wafer進入Alinger巡邊時，偵測Wafer是否偏離定位， 如有偏移，則發報，降低破片風險。 Gate Door監控模組 Z軸監控模組 馬達監控模組製造 說明:藉由驅動器連接外部通訊及監控軟體，根據電流感應環及接收器回傳的參數顯示，監控馬達在產品製造過程中監控運作，降低製造成本浪費損失。
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