首頁 服務項目 監控開發(面板/半導體) Alinger警報裝置 Alinger警報裝置 C1-1 Alinger警報裝置 預防Wafer偏移,當Wafer進入Alinger巡邊時,偵測Wafer是否偏離定位, 如有偏移,則發報,降低破片風險。 1614634