TRAPPACK CONTAINER 規格
設備概述：
TRAPPACK CONTAINER主要是從裝置中去除排出氣體反應生成物的裝置。
安裝位置：真空側(VACUUM PUMP前)適用CVD.PVD.擴散.蝕刻
TRAPPACK CONTAINER 規格
(型號:GLT-T01-0001) :
產品使用SUS316製造，耐腐蝕性，主體厚度3mm，結構簡單，易於拆卸/安裝/維護。
安裝Trappack時，現場機台內部管路需重新配管，配管費用需另計
TRAPPACK CONTAINER 專用Filter規格
(型號:GLT-F01-0001) 耗材更換：
