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CCD辨色系統

為了預警Wafer背面鍍膜顏色異常情況下，仍繼續作業流程，導致良率降低、浪費成本，晶背辨色系統自動檢測Wafer背面鍍膜顏色異常，發生Wafer背面鍍膜顏色異常時立即停止作業並自動拍照儲存破片位置，以利查明原因達到最有效率的生產流程並降低損失。